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镀膜工艺冷却解决方案 时间:2016-01-19 点击量(2285)
镀膜工艺冷却解决方案 镀膜工艺冷却解决方案

概括

  • 应用场合:

    LOW-e玻璃、光伏薄膜、光伏晶片、金属、陶瓷、集热管和半导体等镀膜加工工艺过程中的阴极、分子泵及电源散热。

系统特征

  • 系统概况:

          酷仑的真空镀膜工艺工程师、制冷工程师和电气自控工程师在充分熟悉镀膜工艺要求整体规划镀膜工艺冷却水系统。
    镀膜冷却水系统组成:
    内循环系统:阴极镀膜温控机组1套,电源镀膜温控机组1套
    外循环系统:高温冷水机组2台,绝热蒸发冷却器3台,循环泵站2套,集中PLC控制系统1套
          系统在确保系统稳定可靠的前提下最大限度设计成高效节能冷却水系统,镀膜温控机组设计为根据季节变化的冷水机冷却和冷却器冷却两种运行方式,夏季模式时,冷却器对冷水机组进行冷却,冷水机组提供冷冻水至阴极和泵组系统板换外侧,给阴极和泵组内循环系统降温;冬季模式时,冷水机组停用,直接用冷却器提供冷却水给阴极和泵组系统板换进行换热,通过调节外循环板换的旁通量,保证内侧板换温度的恒定。水泵采用变频控制同时均配有备用泵;生产线连通的内循环水管道及过流设备全部按纯净水要求设计。
          系统主要部件选用进口或国内制造的世界一流品牌,系统功能达到国外进口整机性能。比国内市场同类产品性能及可靠性大大提高,同时节省运行费用20%以上,本系统总造价同进口产品比降低50%、交货周期缩短2/3、售后服务更为方便。

    系统特征: ● 所有功能模块工厂标准化设计、制造、测试,现场只需吊装到位,连接管线,迅速投入使用。 ● 能够根据负载变化及外界气候条件,自动通过相应的泵、旁路、电动阀、变频器进行准确的流量与压力调整,满足生产工艺冷却要求。 ● 系统拥有冷却塔和冷水机两种冷却模式,优先使用自然冷却,根据气候自动切换。 ● Siemens可编程控制器和触摸屏显示,完全实现系统安全自动控制,无需专人职守。 ● 自动水处理装置在线控制水质,自动补水、排水和投药。 ● PROFIBUS通讯方式,与主线上位机通讯,以便于远程监控。